热式气体质量流量控制器的技术介绍

更新时间：2026-04-23

浏览次数：17

热式气体质量流量控制器型号:BDD-S030C库号：M413346 查看hh

热式气体质量流量控制器

型号：BDD-S030C

流量：50SCCM

精度：1% F.S

本体数显的流量控制器，操作简单，示数直观，无需连接分体数显表，无需PLC编程，数字模拟量通讯均可！一键操作

气体质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气（N2）标定。

质量流量单位：SCCM（标准毫升每分钟）、SLM（标准升每分钟）

标准状况：温度--293.15K(20℃)

压力--101325Pa（760mmHg）

F.S（Full Scale）表示满量程

型号：BDD-S030C

流量规格（氮气）：0-10sccm/10sccm-50slm

控制量程：2%-100 %

精度：≤±1.0%F.S

线性：≤±0.5%F.S

重复性：≤±0.2%F.S

阀门类型：常闭阀

响应时间：1-3sec

耐压：≤0-50Bar

通信信号：0-5V/4-20mA/Rs485

供电方式：14VDC--27VDC (300mA)

泄*漏率：1×10-9atm. cc/sec He

应用行业：真空镀膜设备、石油化工、航空、航天、医药、制造业、火电、核电、天*然*气、加气站、液晶面板制造半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能*源与环境设备、各种分析仪器设备表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研实验室设备等行业的公司等

返回列表