质量流量控制仪报价型号:D07-26C库号：M410142
流量控制器型号：D07-26C卡套连接用途和特点
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行测量和控制

产品型号：D07-26C
厂商性质：经销商
更新时间：2025-07-29
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产品详情

质量流量控制仪报价质量流量控制仪报价 型号:D07-26C库号：M410142

流量控制器型号：D07-26C卡套连接用途和特点

质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环境和真空等多种行业的科研和中有着重要的应用。其应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有重复性好、响应速度快、软启动、稳定、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便,可任*意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用,

控制器与显示仪之间用配套用电缆连接。

主要技术指标

型号：D07-26C

流量规格：(20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~1,2,3,5,10) SLM

准确度：±1.5 % F.S.

线性：±1% F.S.

重复精度：±0.2 % F.S.

响应时间：≤10 sec

工作压差范围：0.1~0.5 MPa

耐压：3 MPa