双电测数字式四探针测试仪库号：M415351

双电测数字式四探针测试仪(包含主机+测试探头+测试台+标准电阻片+pc软件) 型号:WZX/ST2263库号：M415351 查看hh

midwest-group

概述

1 基本功能和依据标准：

WZX/ST2263 型双电测数字式四探针测试仪是运用双电测四探针测量原理测试材料电阻率/方块电阻的多

用途、综合测量仪器。该仪器设计符合 G

双电测数字式四探针测试仪库号：M415351

双电测数字式四探针测试仪(包含主机+测试探头+测试台+标准电阻片+pc软件) 型号:WZX/ST2263库号：M415351   查看hh

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概述

1 基本功能和依据标准：

WZX/ST2263 型双电测数字式四探针测试仪是运用双电测四探针测量原理测试材料电阻率/方块电阻的多

用途、综合测量仪器。该仪器设计符合 GB/T 1551-2021《硅单晶电阻率的测定直排四探针法和直流

两探针法》等国标并参考双电测相关文献。

2 仪器成套组成：由 WZX/ST2263 四探针主机、选配的四探针探头、四探针测试台以及 ST2263 型双电测四探针测试软件等部分组成。

3 特征：

1) 带电脑软件，可以保存、查询、统计分析数据和打印报gao。

2) USB 通讯接口，通用性好、方便快捷。

3) 8 档位CHAO宽量程。一般为五到六档位。

4) 可脱电脑单机操作,小型化、手动/自动一体化。

5) 采用双电测测试法，能够消除探针间距不等距以及样品外形不规则带来的形状位置偏差。

6) 操作简便、性能稳定，所有参数设定、功能转换全部采用数码开关输入，简便而且免CHU模拟电

位器式的不稳定易受干扰。

4 探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。

1) 配高耐磨的碳化钨探针探头，如 ST2253-F01 型，以测试硅等半导体、金属、导电塑料类等硬质材

料的电阻率/方阻；

2) 配不shang膜的球形或平头镀金铜合金探针探头，如 ST2558B-F01 型，可测金属箔、碳纸等导电薄膜，

也可测陶瓷、玻璃或 PE 膜等基底上导电涂层膜，如金属镀膜、喷涂膜、ITO 膜、电容卷积膜等材料的薄膜

涂层电阻率/方阻。

3) 配箔上涂层探头，如 ST2558B-F02 型，也可测试锂电池电池极片等箔上涂层电阻率/方阻。

4) 四端子测试夹具，还可对电阻器的体电阻进行测量。

四探针法测试固体或薄膜材料选配 SZT-C 型（快速恒压）

6 适用范围：仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校四探针法对导体、半导体、类半

导体材料的导电性能的测试。

基本技术参数

1 测量范围（可扩展）

电 阻：1.0×10-5 ～ 200.0×103

Ω,分辨率 1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω

电 阻 率：1.0×10-5 ～ 200.0×103 Ω-cm 分辨率 1.0×10-6 ～ 0.1×103Ω-cm

方块电阻：50.0×10-6 ～ 1.0×106 Ω/□ 分辨率 5.0×10-6 ～ 0.5×103Ω/□

2 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)

直 径：SZT-C 测试台直接测试方式 180mm×180mm，可定制。手持方式不限.

长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm, 可定制。

样品厚度：不限

测量方位：轴向、径向均可

3.数字电压表

1)量程：0.00~20.00mV（可定制满度电压 0~2V）

2)误cha：±0.2%FSB±2LSB

3)分辨力：≤1.0µV

4)显示:4 位数字显示，小数点自动显示

4 数控恒流源

1)电流输出：直流电流 0.1µA、1.0μA、10.0μA、100μA、1.0mA、10.0mA、100.0mA、1.0A，共八档，

可手动调节，也可系统自动调整

2)误cha：±0.2%FSB±2LSB

5 量程划分及误cha等级

满度显示 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00

测试电流 0.1μA 1.0μA 10μA 100μA 1.0mA 10mA 100mA 1.0A

常规量程 kΩ-cm/□ kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□

综合误cha ≤0.3％±1LSB

整机测量相对误cha：(用硅标样片:0.01-180Ω.cm 测试) ≤±4％

6 四探针探头（选配其一或加配全部）

(1)碳化钨探针：Φ0.5mm，直线探针间距 1±0.01mm；

针间JUE缘电阻：大于 500MΩ；探针压力: 0～2kg 可调

(2)薄膜方阻探针：Φ0.7mm，直线或方形探针间距 2.0mm，探针压力: 0～0.6kg 可调

7 软件功能：软件可手动或自动记录测试点数据，分析统计后，可得到ZUI大值、ZUI小值、平均值、并统计分析测试数据，并将数据转化为折线图保存在ZUI终输出的测试 Excel 结果中，对数据进行保存、处理、分析。

8 计算机通讯接口：USB 接口，也可定制其他接口。

9 电源

输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<20W

10.外形尺寸、重量：

主 机：220mm（长）×245 mm（宽）×100mm（高），净 重：≤2.5kg中西集团

双电测数字式四探针测试仪库号：M415351