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大流量气体质量流量控制器/流量计是一款高精
度、快速响应、高稳定性产品，本产品为热式气体质量流量流量控
制器/流量计，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成
上下游温差方法，从而测得气体的质量流量。其流量精度不受气体
压力、环境温度影响，由于上下游温差总是实时反映气体瞬时流量，
所以特别适用于过程控制中的气体流量的测量和控制。
本产品可以测量和控制绝大多数干燥、干净的气体，可以应用在
量程范围从300Ln/min 到3000Ln/min 之间气体流量的测量和控制。
技术指标：
满量程范围（N2） 300...3000Ln/min
量程比控制器50:1 流量计100:1
精度±1.0%F.S
线性±0.5%F.S
重复性±0.2%F.S
响应时间1S-3S
工作压差0.3...0.7MPa
大耐压3MPa
工作环境温度5...45℃
泄漏率1×10-8Pa.m3/s
输入输出信号RS232/RS485 MODBUS 协议
供电方式24VDC
密封材料丁晴橡胶氟橡胶
接头尺寸12mm 1/2" 3/4" 法兰其他
产品应用：
真空镀膜设备
半导体工艺设备
化学与化工实验设备
食品科学与工程设备
能源与环境保护设备
各种分析仪器设备
表面处理
真空冶金及材料工艺
高校及科研院所实验室设备
