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全自动四探针测试仪报价

全自动四探针测试仪报价型号:RR11-FT-3110B库号:M409689
功能介绍四点探针法、全自动化运行测量系统PC软件采集和数据处理、ASTM方法
测量电阻率、方块电阻、厚度可调探针压力、测试点数、多种模式显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值
提供标准校准电阻件、数据统计分析适用范围晶圆、非晶硅/微晶硅和半导体衬底电阻率测量;选择性发射极扩散片;

  • 产品型号:RR11-FT-3110B
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-07-02
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产品详情

全自动四探针测试仪报价全自动四探针测试仪报价 型号:RR11-FT-3110B库号:M409689  

功能介绍四点探针法、全自动化运行测量系统PC软件采集和数据处理、ASTM方法

测量电阻率、方块电阻、厚度可调探针压力、测试点数、多种模式显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值

提供标准校准电阻件、数据统计分析适用范围晶圆、非晶硅/微晶硅和半导体衬底电阻率测量;选择性发射极扩散片;

表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;电极设计,如电镀铜电阻测量等;规格型号 FT-3110B(可扩展)

1.方块电阻 10^-6~2×10^5Ω/□2.电阻率 10-7~2×106Ω-cm

3.测试电流 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

4.电阻精度 ≤0.3%(标准电阻)

5.PC软件操作 PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等

6.压力范围 探针压力可调范围:100-500g

7.探针 钨钢材质,探针间距1mm;机械游移率:≤0.3%;其他规格可定制

8.载台类型及尺寸选购 选购1:圆形载台晶圆尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm)

选购2:方片载台尺寸:153mm*153mm范围内定制规格

9.分析模式 单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试

10.重复性 单点重复性:重复性≤0.5% 

11.防护功能 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报

12.电源 输入: AC 220V±10%.50Hz, 功 耗:<600W


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