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磁控溅射仪库号：M413672

磁控溅射仪库号：M413672

磁控溅射仪(含靶材4片）型号:ZX/GEMINI-500库号：M413672 查看hh

midwest-group

技术参数

真空泵.--(泵油)旋转真空泵

旋转真空泵转速50 Hz: 8 m2/h (2.2 L/s) / 60 Hz: 9.6m%/h (2.6 L/s)

JI限真空度2Pa

溅射电流≤100mA

工作压力2Pa - 10Pa

产品型号：型号:ZX/GEMINI-500
厂商性质：经销商
更新时间：2026-05-25
访问量：9

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产品详情

磁控溅射仪库号：M413672

磁控溅射仪(含靶材4片）型号:ZX/GEMINI-500库号：M413672 查看hh

midwest-group

技术参数

真空泵.--(泵油)旋转真空泵

旋转真空泵转速50 Hz: 8 m2/h (2.2 L/s) / 60 Hz: 9.6m%/h (2.6 L/s)

JI限真空度2Pa

溅射电流≤100mA

工作压力2Pa - 10Pa

抽真空时间<5 Min (2 Pa)

真空测量测量范围从大气压到2x102mbar

气体控制气体流量控制阀

腔体尺寸φ186*120mm(高)抗刮石英玻璃

磁控靶源靶尺寸φ50/ 溅射靶源:金、银、铂

操作方法操作手册。

重量/尺寸30kg/430mm 长x 390mm 宽x 420mm 高

工作电源AC 220V 50Hz

电源功率<2000W

冷却方式电制冷(选配)

自动化镀膜流程

全流程自动运行减少人工误差提|升|重复性与效率

GAO兼容性与均匀沉积

兼容多种靶材适配多类样品沉积均匀一致

热敏样品保护热敏溅射功能功率缓慢爬升降低样品受热风险

操作与模块化设计

触控操作直观

模块化便于升JI维护加便捷中西集团

自动化镀膜流程

全流程自动运行减少人工误差提|升|重复性与效率

GAO兼容性与均匀沉积

兼容多种靶材适配多类样品沉积均匀一致

热敏样品保护热敏溅射功能功率缓慢爬升降低样品受热风险

操作与模块化设计

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磁控溅射仪库号：M413672

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